Das INTERFACE TO ANSYS ermöglicht präzise Finite Elemente Simulationen für das mit dem MODELBUILDER erarbeitete finale Design. Alle geometrischen Daten werden automatisch übernommen und in ein 3D-ANSYS Modell überführt. Dabei werden auch Eckenverrundungen, Unterätzungen der Maske und die Ätzschrägen an den Seitenwänden berücksichtigt. Einstellungen für die Vernetzung sind bereits vordefiniert, können aber auch selbst durch wenige Parameter verändert werden.

Die traditionelle Finite-Elemente-Modellgenerierung für komplizierte MEMS-Sensoren und -Aktuatoren ist zeitaufwendig, erfordert viel Wissen und ist anfällig für Fehler. Die ANSYS-Schnittstelle des MODELBUILDERS kombiniert MEMS-Modelle von der Konzeptentwicklung bis zur abschließenden Finite-Elemente-basierten Designbewertung für einen konsistenten und effizienten Designprozess.

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