ANSYS 接口能够对用 MODELBUILDER 制作的最终设计进行精确的有限元模拟。自动载入所有几何结构数据并导入到一个 3D-ANSYS 模型中。同时还会考虑到各个侧壁的圆角、遮罩的侧蚀宽度和蚀刻斜面。已预先定义网络设置,但也可通过个别参数更改。

传统有限元模型在创建复杂 MEMS 传感器和执行器时是耗时的,需要大量专业知识并且容易出现错误。MODELBUILDER 的 ANSYS 接口将从方案开发到最终基于有限元设计评估的 MEMS 模型结合在一起,实现了持久且高效的设计过程。

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